光刻机研发这么多年,理论体系大家都清楚,但能否用技术实现出来却至关重要。



徐磊虽然率先解决了光源系统,能够达到很高的分辨率以及使用寿命。



可配制光刻胶却比较棘手。



霓虹国能为海外光刻机公司提供高端光刻胶,很大程度上是借助了自身在特殊材料领域的发展。



国内由于此行业底蕴较为薄弱,以至于不少原材料都需要徐磊从零开始研发,这在效率速度上自然会慢上很多。



况且要保证在晶圆上蚀刻出3纳米甚至1纳米的芯片电路,对光刻胶的要求也就更高,起码品级要超出海外高端光刻机所使用的光刻胶,否则若最后和制作出来的顶级光刻机不配套,那就成了宝剑配上一个烂木鞘,怎么看会怎么别扭。



至于物镜系统的研发,进度则就明显快多了。



海外高端光刻机所使用的镜头,基本来自徳国公司。



且镜头上的每一块镜片均采用人工打磨的方式,确保镜片没有任何瑕疵。



华科院内尽管找不到这种程度的工匠,但依靠星瞳的强大智能运算能力和徐磊的把控,最后打磨出来的镜片倒也能够满足顶级光刻机的需求。



于是在这种情况下。



最后当光刻机各部件成功完成组装,可以进行测试的时候。



仅剩下光刻胶仍旧没有解决。



这使得其他人也只能耐心等待,相信徐磊可以配制出顶级的光刻胶。



但由于先前华科院已经放出风去,表示春节前后就能让国产光刻机投入使用。



所以眼看着时间一天天流逝,大家的心情也开始紧张起来。



尤其是院长杨森平。



几乎都快把自己的办公室搬到实验室来了。


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